【mSAP工艺】对材料及设备端的变革——天风新材料

工艺本质:mSAP(改良型半加成法)通过化学电镀+超薄种子层,将线宽线距由30μm细化至15–25μm,材料利用率由减成法的50–60%提升至90–95%,铜均匀性与良率大幅提高。1.6T光模块因窄板、孔距密集,基本必须采用mSAP,渗透率已达50%以上,未来仍有50%提升空间。

设备端:升级集中在高速激光钻机(30万转,占投资30%)、电镀设备(20%)、LDI曝光机(约10%)和高温压合机(5–6%)。二氧化碳30系列激光钻年产700–800台仍供不应求,交期长达10–24个月;一条5万㎡产线约配300–400台机械钻+80–100台激光钻。高端曝光机由以色列澳宝、日系主导,国内厂商在中高端快速替代。

材料端:马9/马10等高温混压材料(耐温350–385℃)广泛应用,压合平整度需±0.03mm、温度均匀±1.5℃,多依赖进口,成本近翻倍;覆铜板及铜资源紧缺、压合设备成为产能瓶颈。

耗材与竞争:高温高阶材料使钻头寿命由8000–10000孔锐减至150–200孔,金刚石钻针成攻关方向,但CVD/PCD尚无终局方案,胜宏等仍处测试阶段。整体呈现需求强劲、交付周期与材料供应为主要制约。