7月20日，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）报收2.799元，收跌6.89%，成交金额17.9亿元。换手率25.99%。科创半导体设备ETF华泰柏瑞成立于2025年05月26日，管理人为华泰柏瑞基金，基金经理为李沐阳。今年以来基金回报93.14%，同类排名3/4777。科创半导体设备ETF华泰柏瑞跟踪的指数为科创半导体材料设备（950125.SH）。上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。