截至2026年5月22日10:59，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌1.22%。成分股方面涨跌互现，耐科装备领涨10.55%，天岳先进上涨7.16%，中船特气上涨6.15%；华峰测控领跌5.10%，华海清科下跌3.18%，沪硅产业下跌3.14%。科创半导体ETF华夏(588170)盘中换手15.98%，成交18.95亿元，市场交投活跃。
资金净流入方面，科创半导体ETF华夏近6天获得连续资金净流入，最高单日获得13.91亿元净流入，合计“吸金”22.28亿元，日均净流入达3.71亿元。
整体来看，A股科技行情调整，业内人士表示，整体风险或相对可控。5月21日，此前持续走强的A股半导体板块迎来调整，算力板块也同步出现回调，多只“双创”相关ETF尾盘成交额显著放量。对于此番科技行情调整，业内机构认为，海外利率走高与美元走强压制估值端，风险资产进入再定价阶段，由于盈利、AI叙事、资金偏好等因素，短期市场呈现高位震荡的态势。值得注意的是，AI产业趋势未被证伪，盈利、流动性、风险偏好三要素均未出现系统性恶化，市场风险或相对可控。
中信建投研报表示，地缘政治风险难抑半导体需求高增趋势SEMI表示，尽管受中东危机、贸易不确定性及原材料短缺影响，半导体需求高增势头仍将持续。受AI数据中心推动，今年全球半导体销售额预计达1万亿美元，2035年将翻倍至2万亿美元。
数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。
相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。