SEMICON China 2026将于3月25日至27日在上海新国际博览中心举行，是全球半导体行业的重要展会之一。格蓝若精密将携十余款核心产品及多套行业应用解决方案亮相，诚邀您莅临展位，共话半导体“芯”机遇。
武汉格蓝若精密技术有限公司作为国内领先的半导体高端装备分系统专业解决方案供应商，始终致力于高性能主动减振系统与精密运动控制系统的技术研发与创新应用。本次重点展品涵盖磁浮型、真空型、一体式平台等主动减振系列产品，以及纳米精度运动控制、高性能通用型运动控制系列产品。相关成果广泛应用于半导体设备、高端超精密装备、精密加工机床、高端电镜、航空航天等领域，性能指标位于国际领先水平。
破解微振动难题！
主动减振技术如何撑起高端制造？
在半导体制造、显微成像、精密光学装备等高端前沿领域，环境微振动已成为制约装备精度提升的核心瓶颈。传统被动隔振技术难以应对全频段、多类型的振动干扰，亟须具备宽频带响应、自适应控制能力的主动减振方案。
主动减振是一种通过控制能量反馈，对振动进行实时抵消与精准抑制的先进技术。其核心原理为：实时监测环境与设备振动，由控制器快速运算并输出控制指令，驱动执行器施加反向作用力或补偿运动，从而动态平衡振动能量、抑制扰动传递。相较于传统被动隔振技术，主动减振不仅可高效消除低频振动干扰，还能通过实时自适应调整控制策略，有效规避系统共振风险，具备更优异的环境适应性与稳定性。
基于对不同应用场景振动特征与设备需求的分析，格蓝若精密开发了7个系列、60余款主动减振产品，广泛应用于国内外市场，技术性能达到同类产品全球先进水平。
SFV系列真空型主动减振器垂向以空气弹簧并联磁负刚度机构作为主支撑，水平方向以负刚度机构与正刚度机构并联，配合垂向和水平向的主动振动控制及精密定位控制，实现6自由度高性能主动减振和稳姿，在先进制造领域，可满足14nm及以上关键工艺制程设备的减振需求。
PAD系列主动减振为一体式隔振平台，结合系统内部被动隔振体与配合垂向和水平向的主动振动控制，实现6自由度高性能主动减振，可选配精密定位控制功能。可以满足各类电子显微镜与精密光学仪器的高性能减振要求，产品范围覆盖桌面级与大尺寸级别不同隔振需求。
磁浮式主动减振器采用非接触磁悬浮支撑与实时主动控制相结合的高端隔振技术，以无机械摩擦、无磨损、无滞后的方式，从源头抵消低频与中频环境扰动。相较于传统被动隔振与机械接触式主动减振，它拥有更快的响应速度，更高的运行稳定性，同时具备宽频控制能力等优势，可在真空、洁净、超精密场景下长期可靠运行，全面保障半导体设备、电子显微镜、精密光学系统的核心测量与运动精度。
高端制造升级，
国产精密运动控制系统新选择
精密运动控制产品矩阵
产品核心特点
适配单轴多测量系统应用，支持多反馈源切换，大幅提升设备在复杂工况下的适应性与可靠性。
实现多传感器、多执行器、多自由度系统的精准协同控制，稳定适配ZTT等复杂多轴应用。
有效抑制外部干扰，确保运动轨迹与定位精度全程稳定，在复杂工况下仍保持高一致性控制性能。
强化动态响应性能，大幅提升跟踪精度与实时性，满足高速高精度运动控制场景。
采用高精度脉冲调制技术，实现电机电流连续、平滑输出，有效抑制机械振动，提升低速运行平稳性与定位精度，让设备运行更安静、更稳定。
支持双回路龙门、主从轴跟随等多输入多输出控制方式，提升龙门运动的同步性、平稳性与定位精度。
独特的一键自动调参功能，完成算法升级与场景扩展，适配龙门、多轴耦合、柔性负载等复杂场景，实现更快响应、更小稳态误差与更强抗干扰能力，极大降低调试难度，大幅提升调试效率。
驱控一体机系列产品定位于超高精度、模块化、集成伺服驱动和运动控制一体化设备。采用多处理器异构架构，结合强大的伺服控制和运动控制算法，显著提升运动系统性能，适用于半导体、激光加工等高精度、高实时性领域。它旨在满足多轴运动控制需求高的设备制造商的需求。同时，其通用伺服驱动技术使系统设计者能够控制各类主流电机或运动平台。
核心定位：模块化高性能多轴驱控一体化设备，专为半导体领域、激光加工等超精密应用打造。
核心能力：采用EtherCAT通讯协议，支持最高8个驱动轴，64个控制轴多核异构搭配自研伺服算法，实现200kHzPWM开关频率、10kHz电流控制带宽、响应性能行业领先。支持龙门算法、动态误差补偿、环网冗余等高级功能，满足复杂精密运动需求。
典型应用：半导体设备、激光精密加工、高精度自动化装配线。
EtherCAT运动控制器，其采用多核异构紧凑型设计，具有强大的参数整定算法和运动控制算法来最大限度地提高运动系统性能。同时具备出色的兼容性和拓展性，能使用分布式时钟确保所有轴之间的同步精度优于0.1微秒，适配半导体领域、激光加工等高精度、高实时性领域。
核心定位：高性能EtherCAT主站控制器，专注于多轴同步与复杂轨迹规划。
核心能力：多处理器架构，EtherCAT循环速率高达10kHz，轴间同步精度优于0.1微秒。支持最大64轴，兼容各类EtherCAT伺服驱动器与IO模块。支持GL+脚本、G代码混合编程及C#/C++/Python API，开发灵活高效。
典型应用：半导体后道处理、激光加工设备、多轴联动自动化设备。
脉宽调制驱动器是为满足半导体装备、精密仪器及高端自动化设备严苛运动控制要求而设计的EtherCAT高性能伺服驱动系统。提供单轴/双轴/多轴等多形态模块，支持宽电压与宽电流规格，可灵活匹配不同负载场景。搭配格蓝若精密多轴运动控制器，可构建高同步、高可靠的全链路运动控制系统，统一协调I/O、测量、激光等EtherCAT从站功能，满足高端装备极致性能需求。
核心定位：EtherCAT总线脉宽调制驱动器，采用精细PWM技术，覆盖多场景应用。
核心能力：实现10kHz电流控制带宽、200kHz开关频率。支持一键自调参，大幅缩短调试时间。集成STO安全转矩关断功能，硬件级强制关断功率管，保障安全。
典型应用：半导体高端设备、激光加工、精密运动平台。
格蓝若精密LAD系列线性驱动器，是一类高性能AB类线性放大器，专为高精度运动控制场景设计，可实现高精度信号到线性动力的无偏差转换，兼具高精度、低噪声、强适配、高可靠等核心特性，是高端精密运动控制场景的核心驱动解决方案。产品广泛应用于超高分辨率位移平台、直线电机平台、高惯性失配平台，同时可完美匹配高精度检测系统、光学器件制造、医疗设备等对运动控制精度、噪声控制及电磁兼容性要求严苛的应用场景。
核心特点
精准输出：连续电流≥10A、峰值≥25A，电流纹波≤100uA，线性度<1‰。
低噪兼容：无PWM噪声，满足CE/CS等EMC标准，适合医疗、计量等敏感环境。
灵活控制：支持单相/两相电流环，可控制两个音圈电机，兼容三角形/星形连接。
携以上重磅产品，格蓝若精密以核心技术赋能半导体产业自主创新，期待在SEMICON China T4408展位与您相遇，共探高端装备减振与运动控制前沿方案，携手推动半导体产业链高质量发展！