3月20日，半导体设备ETF万家（159327）报收1.979元，收跌0.85%，成交金额3801.2万元。主力资金（单笔成交额100万元以上）流入金额达21.4万元，同类基金流入金额垫底。半导体设备ETF万家跟踪的指数为半导体材料设备（931743.CSI）。中证半导体材料设备主题指数从沪深市场中，选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映沪深市场半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。半导体设备ETF万家（159327）的场外联接基金为：万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A（023828.OF）、万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C（023829.OF）。