本公众号是广东微技术工业研究院旗下非营利性MEMS技术动态和产业报导平台。每周发布MEMS深度报道、产业动态追踪及技术科普。
编者按
本系列文章旨在对MEMS领域的基础知识进行一次系统性的梳理。我们尝试将MEMS的原理、材料、工艺到测试等关键环节串联起来，形成一份可供参考的资料汇编。希望能为对MEMS技术感兴趣的朋友，提供一个相对清晰的脉络。
微机电系统的概述和发展历程
从宏观视角切入，系统阐释MEMS的定义、核心系统构成及四大发展阶段。
MEMS传感器的设计方法和关键技术
探讨了MEMS设计中的主流方法论，并分析了微尺度下特有的物理效应所带来的设计考量。
MEMS材料的特性和制造工艺
盘点决定MEMS性能的关键材料，并详解体硅与表面加工两大主流工艺路线，揭示从晶圆到芯片的精密制造全过程。
MEMS封装技术全解析
深入探讨封装技术如何成为影响器件可靠性、成本与商业化成功的决定性因素。
MEMS测试：主要参数检测方法
系统归纳了为确保MEMS器件性能与可靠性所需检测的关键参数及主流方法。
MEMS先进材料和制造技术
密切关注MEMS领域在前沿新材料和先进制造技术方面的一些进展。
四大主流传感器器件和材料的最新进展
综述四类主流传感器的核心机理、最新材料突破及其在智能应用中的前沿表现。
MEMS演进史：从实验室到千亿生态
全景式回顾MEMS技术从早期探索，到在汽车电子、消费电子等领域的关键商业化节点，展现其如何一步步成长为支撑现代社会的千亿产业。
最早的智能传感器
追溯历史，回顾了智能传感器概念的早期起源与实现，提供了一个历史视角。
从MEMS的微观原理到宏观的产业生态，希望通过本系列的梳理，能助您勾勒出MEMS技术的清晰轮廓。技术的探索永无止境，我们也将持续关注并分享更多前沿动态。