中国青年报客户端讯(中青报•中青网记者 李剑平)北京时间3月20日, 《自然》刊发浙江大学光电科学与工程学院/海宁国际联合学院狄大卫教授、赵保丹研究员团队研发微缩LED的相关成果。浙大团队研发的微米和纳米钙钛矿LED达到了传统LED难以触及的——90nm尺寸新极限,同时“降尺度”过程仅造成微弱的性能损耗。
目前,世界先进的显示技术是基于III-V族半导体的micro-LED。狄大卫介绍,micro-LED通过缩小LED的尺寸,可实现超高清、高精度的光电显示。不过,当像素尺寸减小到约10微米或更小时,micro-LED的效率会急剧下降。
狄大卫团队从三五族半导体micro-LED的微型化研究中得到启发,开始研制用于未来显示技术的更小钙钛矿LED,并首次提出“微型钙钛矿LED(micro-PeLED)”概念,获得国家、国际专利。
“对钙钛矿LED进行微型化不能沿用micro-LED技术,且传统的光刻工艺会破坏钙钛矿材料。”狄大卫说。他们团队设计了一套局域接触工艺,能够在附加绝缘层中引入由光刻制作的图案化窗口,以确保像素区域远离电极边缘。这一工艺有效保证LED的发光效率,可制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED。
狄大卫说,研究成果中展示的nano-PeLED最小可达到90纳米,研究团队创建的具有127000 PPI超高分辨率的LED像素阵列也摘得所有类型LED阵列最高分辨率的纪录。目前,浙大研发团队与杭州领挚科技携手制作由TFT背板驱动的有源矩阵micro-PeLED微显示器原型,能够呈现复杂的图像和视频,将应用在下一代光源技术和AR/VR显示领域。
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