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【求是芯星】上海恩氟佳科技有限公司创始人闾肖波

求是缘半导体联盟

2025-03-13 14:29发布于上海

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AI划重点 · 全文约6067字，阅读需18分钟

1.上海恩氟佳科技有限公司创始人闾肖波表示，我国氟化工行业在电子化学品、新能源、航空航天等领域具有广泛应用，2024年总产值达到500亿元。

2.然而，我国在高端含氟精细化学品领域仍面临技术创新能力不足、人才短缺、环保压力和市场竞争激烈等挑战。

3.为此，恩氟佳需持续构建核心能力，如提升研发能力、公司管理运营水平，与上下游产业和外部资源合作，挖掘产业价值。

4.同时，恩氟佳应关注产品质量控制，完善质量检测体系，采用先进检测技术和设备，确保产品的一致性和稳定性。

以上内容由腾讯混元大模型生成，仅供参考

嘉宾简介

（图为被访嘉宾恩氟佳创始人闾肖波）

本期被访嘉宾是来自于求是缘半导体联盟会员单位：上海恩氟佳科技有限公司创始人闾肖波。闾肖波于2002年本科毕业于天津大学化工工艺专业，2006年于浙江大学化学工程专业硕士毕业。毕业后即进入含氟精细化学品领域，并于2008年在上海创业成立恩氟佳，创业十几年来，已开发几百种产品，累计服务几百家的海内外客户，积累了丰富的有机氟化工领域的产品合成开发和创业管理经验。

接下来欢迎您与我们一起听听闾肖波分享他对氟化工领域的见解、以及恩氟佳的创业历程。

求是缘：您能否为我们科普一下全球和中国的氟化工的定义、门类、行业应用和总体市场规模情况?

闾肖波：氟原子（元素符号F）是化学元素周期表中第9号元素，是电负性最强的元素，其原子核对最外层电子的吸引力很强，因此氟原子很容易获得电子。在化学反应中，氟原子能够从其他物质中夺取电子，表现出极强的氧化性。同时由于氟原子的原子半径很小，这使得氟原子在与其他原子结合时，能够更紧密地靠近其他原子，形成更稳定的化合物。

氟是特种塑料、橡胶和制冷剂（氟氯烷）中的关键元素。由于氟的特殊化学性质，氟化学在化学发展史上有重要的地位。

氟化工是指以氟元素为基础，生产含氟产品的工业。氟化工产品具有化学性质稳定、耐腐蚀、耐高低温、耐老化、绝缘等优异性能，广泛应用于多个领域：制冷剂、电子化学品、新能源、航空航天、医药、农药、涂料、橡胶等。

（图为含氟产业链上下游及应用展示）

氟化工行业也是化工行业的重要子行业之一。我国的氟化工行业依托丰富的萤石矿资源，经过几十年的发展，逐渐形成了相对完整的产业链。2024年中国氟化工行业的总产值达到了500亿元，并且还在持续增长。

求是缘：含氟精细化学品是氟化工产品体系中的重要门类之一，含氟精细化学品的具体分类、应用场景包括哪些？

闾肖波：氟化工按门类可以分为无机氟化物和有机氟化物；有机氟化物还可细分为含氟聚合物，含氟ODS和替代品，以及含氟精细化学品等大类。按用途分，还可将含氟精细化学品分为含氟医药、含氟农药、含氟材料和含氟电子化学品等。

含氟精细化学品具有附加值高、品种多、应用广、单一产量相对较小的特点，是氟化工行业中的特殊应用的一个重要分支。

含氟精细化学品主要根据客户的应用去定制合成，满足不同客户的个性化需求，品种多达成千上万种。

（氟化合物产业链产业附加值增值程度展示）

求是缘：您能否结合当下的行业应用热点、未来的前沿新兴赛道，来为我们再展望一下哪些应用场景会刺激含氟精细化学品市场规模的快速增长？

闾肖波：含氟精细化学品的下游应用领域非常广泛。近5年来的行业应用热点主要集中在：新医药、新能源和新材料。

新材料：含氟精细化学品在集成电路产业中的应用日益广泛，如电子氟化液可应用于数据中心充当冷却液，众多含氟单体可用来合成光刻胶、光酸和抗反射涂层。含氟聚合物在5G通信、半导体制造等领域的应用也在不断拓展。在集成电路先进制程中，各制造环节都有含氟化合物的身影，尤其在蚀刻、清洗、光刻、封装等制程中。

新医药领域：据FDA统计，近几年获批或开发的新药中，含氟药业比重逐年增加，尤其是含氟亚甲基新药研究的相关专利数量显著增多。随着多个含氟重磅药物专利期临近，相关的含氟药物市场会在短期内突飞猛进，尤其在糖尿病、抗病毒、抗感染等领域的市场需求巨大。此外，生命工程产业的崛起，对生理活性的含氟医药倍加青睐。

新能源领域：在新能源汽车、半导体、电子信息等新兴产业的快速发展，对高端氟化工产品的需求将进一步增加。例如，锂离子电池电解液中的含氟添加剂、固态电池中的含氟固态电解质等，对提升电池性能和安全性具有重要作用。

除了上述的几大主流应用热点领域，含氟精细化学品的未来应用还包括以下几个方面：

新能源领域：随着新能源汽车、储能系统等领域的快速发展，对高性能电池材料的需求将持续增长。含氟精细化学品在锂离子电池、固态电池等新能源电池中的应用将不断拓展，如含氟电解液、含氟固态电解质等，有望推动市场规模的快速增长。

求是缘：您能否围绕半导体集成电路的制造流程，再给我们具体展开讲一讲含氟精细化学品可应用于半导体制造的哪些制造工序、工艺？

闾肖波：我们分别以集成电路的两段主要制造流程：晶圆前道制造阶段、后道芯片封测阶段来看一下含氟精细化学品的具体应用。

首先，在晶圆前道制造阶段的清洗工序、化学气相沉积、光刻、刻蚀、离子注入等工艺流程中会使用大量的含氟化合物。

清洗工序：含氟精细化学品在清洗剂方面有重要应用。相比传统清洗剂，氟化液具有更高的清洗效率和选择性，能够满足半导体制造对高洁净度的要求。例如，氟化液作为清洗介质，能够有效去除晶圆表面的有机物、颗粒和金属离子等杂质。此外，含氟聚合物如PFA、FEP等被用于制造清洗设备的部件：清洗花篮、化学品清洗槽等；这些部件能够耐受强腐蚀性化学品，防止污染晶圆，延长设备寿命。

化学气相沉积（CVD）工艺：含氟精细化学品在CVD工艺中作为前驱体材料使用。如六氟化钨（WF6）是制备钨薄膜的重要前驱体，钨薄膜在半导体器件中作为栅电极、互连层等关键部件。此外，含氟气体如三氟化氮（NF3）也可用于后续的清洗和刻蚀工序。

光刻工艺：含氟精细化学品在光刻胶中的应用。光刻工序中使用的光刻材料包括含氟光刻胶、光酸和抗反射涂层。例如，含氟光酸材料作为光刻胶的产酸剂，能够提高光刻胶的感光速度和分辨率，因此可应用在高分辨率光刻技术，如极紫外光刻（EUV）和深紫外光刻（DUV）。此外，含氟聚合物如PFA等也被用于制造光刻设备的部件，如光刻胶涂布器、显影槽等，这些部件能够耐受光刻胶的腐蚀，保证光刻工艺的稳定性。

刻蚀工艺：含氟电子特气如三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等在刻蚀工艺中作为刻蚀气体使用。这些气体能够与刻蚀材料发生化学反应，生成挥发性产物，从而实现对材料的选择性刻蚀。例如，在等离子体刻蚀过程中，含氟气体能够有效刻蚀多晶硅、氧化物等材料，形成精细的图案结构。

离子注入工艺：含氟精细化学品在离子注入工艺中作为掺杂剂使用。如三氟化硼（BF3）、三氟化磷（PF3）等含氟气体能够提供硼、磷等掺杂元素，通过离子注入技术将这些元素引入半导体材料中，改变材料的电学性质，实现器件的功能化。

我们再来关注后道的封装测试阶段对含氟化合物的需求。后道封测阶段还需要使用含氟化合物的封装材料、含氟的精细化学品清洗剂来完成后道的工艺需求。

封装材料：含氟精细化学品在封装材料中的应用比较多。如氟聚合物如PFA、FEP等被用于制造封装材料，这些材料具有良好的绝缘性能和化学稳定性，能够保护芯片免受外界环境的影响。此外，含氟精细化学品还被用于制造封装设备的部件，如封装模具、封装胶等，这些部件能够耐受封装过程中的高温高压环境。

清洗工序：在封装测试阶段，含氟精细化学品在清洗剂中的应用。如氟化液作为清洗介质，能够有效去除封装过程中产生的有机物、颗粒和金属离子等杂质，保证封装产品的质量和可靠性。

由此可见，含氟精细化学品在半导体集成电路的制造流程中具有广泛的应用，涵盖了清洗、刻蚀、沉积、掺杂、光刻等多个关键工序和工艺。这些含氟精细化学品凭借其优异的化学性质和物理性能，为半导体制造提供了重要的材料支持，推动了半导体技术的不断发展。

求是缘：若从全球的含氟精细化学品产业链竞争力维度来看，我国的含氟精细化学品真实水平如何？您认为制约中国含氟精细化学品产业往高端应用方向发展的挑战有哪些？

闾肖波：从体量上来看，我国是氟化工大国；但若从产品结构来看，我国还不属于氟化工强国。从全球的含氟精细化学品产业链来看，我国的含氟精细化学品真实水平剖析如下：

生产技术水平：我国初级含氟精细化学品的生产技术水平已接近国外先进公司，产品单耗、能耗得到有效降低，在脂肪族、芳香族和杂环含氟精细化学品生产方面，我国已开发出了一系列有竞争力的产品，行业整体处于上升期。

产能和产量：中国作为全球氟化工的主要生产和消费国，其市场规模同样可观。2024年中国氟化工行业的总产值达到了500亿元，并在持续增长。2024年，中国氟化工行业总产能超过640万吨，并在持续增长中。

产业链完整性：近年来我国氟化工基础及通用产品产量占全球的55%以上，已成为世界氟化工产品产销大国，形成了无机氟化工、氟碳化学品、含氟聚合物及含氟精细化学品四大类氟化工产品体系和完整门类。

一分为二地来看，制约中国含氟精细化学品产业往高端应用方向发展的现实挑战：

技术创新能力不足：尽管我国在初级含氟精细化学品生产技术上取得了进步，但在高端含氟精细化学品领域，与国外先进企业相比，我国企业在技术创新能力和研发投入方面仍存在差距。这导致我国在高端产品的研发和生产上相对滞后，难以满足中高端市场需求。

人才短缺：高端含氟精细化学品的研发和生产需要具备专业知识和经验的技术人才，尤其是在半导体的应用领域。

环保压力：随着全球环保意识的提高，环保政策日益严格，氟化工产业也面临着环保与可持续发展的挑战。含氟精细化学品的生产过程中可能会产生一些污染物，企业需要投入更多的资金和精力来加强环保设施建设，优化生产工艺流程，减少污染物排放，实现绿色生产。

市场竞争激烈：全球含氟精细化学品市场竞争激烈，国际巨头在技术和市场上占据优势。我国企业在与国际巨头的竞争中，面临着较大的压力，需要不断提升自身的竞争力，以在国际市场上占据更大的份额。

产业链协同不足：虽然我国氟化工产业链较为完整，但在产业链协同方面仍存在不足。上下游企业之间的合作有待加强，信息交流还可优化，导致产业链整体效率不高，难以形成有效的协同效应，影响了产业的高端化发展。

求是缘：恩氟佳在含氟精细化学品这条产业链上处于什么位置？恩氟佳所对应的上游供应链、下游应用市场的真实发展情况如何？

闾肖波：恩氟佳作为一家专注于含氟精细化学品研发、生产与销售的高新技术企业，处于含氟精细化学品产业链的下游位置。我们的主要业务包括含氟医药中间体、含氟电子化学品、含氟高分子材料等产品的研发与生产。我们的产品广泛应用于医药、电子、高分子与农药等领域。

恩氟佳的上游供应链情况相对稳定，物料都来自于国内的厂家，供应链被卡脖子的风险较低。

萤石等基础原料供应稳定：萤石是氟化工产业链的源头，我国萤石资源丰富，储量和产量均居世界前列，为含氟精细化学品的生产提供了充足的原料保障。

基础化工产品供应成熟：氟化氢、氟化钾等基础化工产品生产工艺成熟，市场供应充足，能够满足恩氟佳等企业的生产需求。

氟化物合成技术进步：随着氟化工行业的发展，三氟乙醇、六氟丙烯等氟化物的合成与加工技术不断进步，为含氟精细化学品的生产提供了更高效、更环保的原料供应。

恩氟佳的所服务的下游行业应用和客户规模发展势头迅猛，给我们带来了大量的机会。

医药领域需求增长：随着多个含氟重磅药物专利过期，相关含氟中间体市场需求量增加，尤其在抗病毒等领域的市场需求较大。恩氟佳的含氟医药中间体产品在这一领域具有丰富的应用，如有产品可用来生产抗乳腺癌药物氟维斯群。

电子领域需求旺盛：在新能源汽车、半导体、电子信息等新兴产业的快速发展，对高端氟化工产品的需求不断增加。恩氟佳的含氟电子化学品在电子氟化液、电子特气等方面也有具体应用。如全氟丁基磺酸盐可用于生产光酸。

高分子材料领域应用拓展：含氟高分子材料在5G通信、半导体制造等领域的应用不断拓展，恩氟佳的含氟高分子材料产品同样也具有的较高市场潜力。众多含氟单体出口到日本、韩国等国家和地区。

求是缘：作为含氟精细化学品产业链的一份子，恩氟佳若想要实现企业愿景：成长为中国氟精细产业的领跑者，还需要持续构建哪些核心能力、克服哪些挑战？

闾肖波：作为含氟精细化学品产业链的国产创业团队，我们和大部分在材料领域创业的国产团队一样，在前期遭遇同样的挑战：新品验证导入周期比较长、产品的供应能力会被质疑、产品质量是否稳定等。

在跟紧市场需求的大前提下，我们还需要积极引入新思路，对内提升研发能力和公司管理运营水平；对外引入上下游产业和外部资源，挖掘产业价值，在产业链协同等方面持续构建核心能力。

通过不断提升自身的核心竞争力，积极参与市场竞争，推动含氟精细化学品行业的新发展和产品的新应用。

求是缘：恩氟佳所供应的精细化学品多达600多种，恩氟佳如何长期保持多品种、不同批次之间化学品的一致性、稳定性？

闾肖波：作为精细化学品公司，我们基于不同的需求可定制化提供不同产品，从小试、中试到生产，可满足不同数量的需求。我们的产品具有品类多、小批量等特点。为了保障长期稳定供货，我们持续搭建了质量检测体系，采用先进、全面的检测手段，设置严格的追溯机制来解决质量问题。

1.完善的质量检测体系：恩氟佳建立了完善的质量检测体系，对每一批次的化学品进行严格的质量检测。从原材料的进厂检验，到生产过程中的中间产品检测，再到最终产品的出厂检验，每一个环节都有详细的检测项目和标准。例如，对于含氟精细化学品，公司会检测其纯度、杂质含量、水分含量等多个指标，确保产品符合质量要求。

2.先进的检测技术和设备：公司配备了先进的检测设备和技术，如高效液相色谱（HPLC）、气相色谱（GC）、质谱（MS）、核磁共振（NMR）等。这些设备能够精确分析化学品的成分和结构，为质量控制提供有力支持。例如，通过高性能的HPLC可以准确测定化学品的纯度和杂质含量，确保产品的一致性和稳定性。

3.严格的质量追溯体系：恩氟佳建立了严格的质量保证体系，可对每一批次的化学品进行全程追溯。从原材料的采购，到生产过程的每一个环节，再到产品的销售和使用，都有详细的记录和档案。一旦发现质量问题，可以迅速追溯到问题的根源，并采取相应的措施进行整改。

求是缘：作为求是缘半导体联盟的创业会员单位，您如何看待会员与联盟之间的关系？您认为联盟应该在哪些方面继续优化，更好地服务产业会员？

闾肖波：从会员角度来看，我认为求是缘半导体联盟为会员单位提供了一个互动交流和资源分享和的平台。通过联盟，会员单位可以与企业、科研机构等建立联系，共享技术、资金、人才等资源，促进合作与共同发展。例如，联盟组织的各类活动和论坛，为会员单位提供了与行业专家和同行交流的机会，有助于获取最新的行业信息和技术动态。

同样，我们也看到联盟作为一个半导体产业组织，自身尚存在需要优化的地方

增加收入来源：联盟作为一个非盈利组织，长期依赖志愿者维持运营；但联盟若想做得更好，需要聘用专业的团队，全职+兼职搭配相结合。因此建议联盟应考虑如何增加收入来源才能支撑联盟长久发展。

加强与其他平台的合作：联盟可以与其他大型半导体产业平台建立合作关系，促进不同组织之间的资源对接和会员互动。通过与其他平台合作，扩大自身的资源网络，为会员单位提供更多元化的服务和支持。

优化活动组织：随着会员生态的发展，联盟能针对会员进行梳理和分类，再来筹办纵向、互补、有深度的活动，助力上下游的串链合作，避免无序的同质化竞争。满足会员单位的个性化需求，提高活动的参与度和效果。

加强人才服务：联盟可以进一步加强在人才服务方面的工作，为会员单位提供更全面的人才解决方案。

提升信息化水平：联盟建立更加完善的信息交流平台。通过信息化手段，可以更高效地组织活动、发布信息、提供服务，提高联盟的运营效率和会员的满意度。

采访者后记

经过几十年积累，我国已初步建立了相对完善的氟化工产业链上下游基础并拥有巨大的市场需求。但为何迄今为止，我国仍然只是氟化工大国但不是氟化工强国？面向中高端应用的含氟精细化学品，国产品牌占比较低。

他山之石可以攻玉，邻国日本材料产业链的生态合作模式或许可以拿来参考。产业链上的每个团队以自己的核心能力为边界，在能力边界范围内将自己这个部分做深、做透、做到无可替代。

在推动一款新产品开发时，产业链生态伙伴们在产品需求讨论、定义、开发和验证过程中各司其职、合作互补，不必背负太大的压力（担心技术人员被挖角、担心机密被偷、担心被对方一脚踢开），最终生态伙伴们以各自的能力和要素共同拼凑组合一条完整的产品链（产业链），形成稳健的产业生态竞争合力。

基于产品特性和需求，材料领域被细划成为一条条小赛道。小赛道看起来不大，但要想真正进入且走得远也是困难重重。唯有真正愿意沉下心来的团队，才适合进入小而慢的材料赛道，也才有可能孕育出小而美的果实。

（图为被访嘉宾与采访团队合影）

采访人：刘红

编辑/摄影：马丹凤

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