中微公司：刻蚀设备反应台全球累计出货超5000台

36氪

2025-03-12 11:10发布于北京36氪官方账号

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36氪获悉，中微公司宣布其等离子体刻蚀设备反应总台数全球累计出货超过5000台。包括CCP高能等离子体刻蚀机和ICP低能等离子体刻蚀机、单反应台反应器和双反应台反应器共四种构型的设备。CCP设备在线累计装机量近四年年均增长大于37%，已突破4000个反应台；ICP设备在线累计装机量近四年年均增长大于100%，已突破1000个反应台。截至2025年2月底，公司累计已有超过5400个反应台在国内外130多条生产线。

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