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万业企业入股高精密3D量测设备生产商“埃米仪器”

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2025年1月8日,南京埃米仪器科技有限公司(以下简称:埃米仪器)发生工商变更,新增上海万业企业股份有限公司等为股东。

埃米仪器致力于国内精密3D量测设备的国产化,攻克核心技术。资料显示,目前公司持续推出多款量测设备,成功研发的国内首台在线工业级原子力显微镜已在国内领先的12英寸芯片制造企业交付,对推动国内先进工艺的发展,提高芯片制造良率,缩短制程研发周期具有重要意义。

随着3D NAND、HBM、混合键合、先进封装等高密度3D集成的技术发展,AFM的高精度、纳米级测量能力,是其中开发和监控的关键工艺技术,在这些应用中是不可或缺的核心需求设备。

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