第十四届中国国际纳米技术产业博览会（简称“纳博会”）在万众瞩目中圆满落下了帷幕。这场全球纳米科技领域盛会，以1场主报告、13场分论坛、1场创新创业大赛，1场新产品发布会为主，汇聚了全球纳米科技领域的18位院士，450多位高校研究院所、上市公司、知名企业机构的顶级专家代表出席，分享专业报告476场，较往届增加132场，同比增长约33%，吸引9663位嘉宾参会听会。
值此盛会，芯师爷专访了国内数家微纳制造产业链的优秀企业，特别推出专题报道。本文为芯师爷专访安徽泽攸科技有限公司（以下简称“泽攸科技”）市场总监舒翔的实录。
泽攸科技
安徽泽攸科技有限公司成立于2016年，拥有安徽铜陵、北京、上海和东莞四家分公司，是一家具有完全自主知识产权的精密仪器高科技公司。公司专注于扫描电镜、原位测量系统、台阶仪、探针台、电子束光刻机等精密设备的研究，填补了国家在高端精密仪器领域的诸多空白。
泽攸科技在科学仪器领域的技术积累始于中科院两代研究人员不懈努力——2000年初，中科院物理所研究员白雪冬从美国哈佛大学归国后，加入中科院物理所王恩哥院士课题组从事电子显微镜技术相关研发工作，带领项目团队在2005年完成全球首台基于扫描探针技术的透射电镜原位测量系统。
面对国产科学仪器产业长期落后的局面，课题组计划以电镜原位测量技术为突破口，成立一家科学仪器公司，深度参与仪器研发的80后博士生许智决定承担相关研究成果转化工作，在数年的研发迭代与产业化过程中相关技术储备陆续成熟，升任研究员的许智在2016年底成立泽攸科技。
许智在泽攸科技创立之初，就坚定了创新引领、自主可控的技术发展路线。公司坚持全栈技术自研——从场发射电子枪到超高集成度电子光学系统；从纳米精度光栅尺到纳牛力传感器；从超高真空零部件到仪器整机全部自主研发。依托电子光学、扫描探针技术等扎实的底层技术，公司先后完成了台式扫描电子显微镜（SEM）、扫描隧道显微镜（STM）等多款科学仪器的研制工作，短时间内泽攸科技的扫描电子显微镜市场占有率在国产厂商中稳居前三。在有限资金情况下，从实验室发展成为一家拥有尖端技术、特色产品、能够自我造血的科学仪器公司。
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目前公司的拳头产品有哪些，请展开聊聊？
泽攸科技的主营业务集中在检测设备领域，特别是电子显微镜。公司是国内第一批专注于电子显微镜的企业，完全基于自主研发打造，以台式电子显微镜和桌面型扫描式电镜为主。其中桌面型钨灯丝电镜有ZEM15、ZEM18 和 ZEM20 三个型号。
近期，公司推出了ZEM Ultra场发射台式扫描电镜，国产首家场发射台式扫描电镜，它配备了高亮度肖特基场发射电子源，能够轻松获取2纳米分辨率的图像。ZEM Ultra对安装环境的要求相对较低，不挑楼层，对环境震动、磁场强度、温度湿度等没有特别要求。场发射电镜介于光学显微镜和传统地式扫描电镜之间，其性能可以做到落地式电镜的80%，在体积、占地面积、成本、便捷性等方面较落地式电镜有明显优势，而且操作方便，学习简单，非专业人士也可快速上手。它可以在普通的实验室环境中运行，无需特殊的实验室改造，甚至放在产线旁或移动车厢内。
还有便是台阶仪，泽攸科技自主研发的JS系列高精度台阶仪凭借突破性的关键技术，打破了国外垄断，属于国际第一梯队水平。该设备关键性能包括，大行程超精密平面扫描技术行程55mm，平坦度优于20nm，超微压力恒定控制探针压力0.5~50mg，大带宽大行程纳米微动台技术行程80um，分辨率0.05nm，带宽10KHz。目前推出了实验室手动版、半自动版以及工厂场景下的全自动版。
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电镜行业和泽攸科技产品迭代的方向？
电镜的发展迭代速度非常快，未来的发展方向集中在几个关键领域，一方面电镜将进一步发展为支持气体、液体、加热和力学等原位研究方法，另一方面，未来的电镜可能会集成多种表征手段，如扫描电镜、双束电镜、高通量扫描电镜、透射电子显微镜（TEM）和能谱仪等，形成一个多功能的综合分析平台。
泽攸科技暂时没有往双束电镜、高通量扫描电镜方向布局，因为其应用更加偏向于产业链后端。电子束光刻机是泽攸科技明年的主要发力方向，其目标群体与公司当前客户比较重合，在商业推广方面会更加顺畅，在技术方面也有此前的技术沉淀，可以做出来更加有价值有创新的产品。泽攸科技是国内自主研发电子束光刻机中的头部企业，我们也相信当产品问世的时候，会给大家带来惊喜。当产品在高校、科研领域慢慢推广之后，就会着手向成熟工业市场渗透。
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泽攸科技的客户群体属性？
扫描式电镜是近些年非常受欢迎的产品，无论什么企业，只要检测当中涉及材料表征检测就必然需要用到电竞。泽攸科技虽专注于做检测设备产品，但实际的客户分布非常广泛，包括半导体、新能源、医疗和科研等多个领域。而在当前全行业追求性价比的大背景下，相较于性能顶尖但售价也非常高昂的进口设备而言，性能不错价格也非常友好的国产设备更受欢迎。泽攸科技目前在电镜方面有比较完善的产品矩阵，是市场和企业不错的选择。
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2.5/3D先进封装，对于电镜有何挑战？
随着半导体封装和制程工艺水平的提升，对于检测的精度要求越来越高，也就要求设备的性能越来越高，这也是泽攸科技等企业推出场发射透射电镜和单晶透射电镜的原因，泽攸科技将客户需求放在第一位，在产品迭代和技术攻关方向也基本沿着市场方向。
当前公司的设备在晶圆检测、PCB检测方面的应用非常多。电镜更聚焦于材料表征检测，比较难胜任2.5/3D先进封装的内部检测，一般采用工业CT做扫描检测，或者将检测物切开做截面检测。
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公司核心产品的国产化率情况如何？
总体而言，公司产品的国产化率不到100%，大概95%左右，部分没必要自己做的真空泵采用进口，电镜中高压电子枪、聚光灯、物镜线路板、材料灯丝等核心部件均是国产。泽攸科技以其在电子显微镜领域的深厚技术积累和市场洞察，正稳步推进产品创新和市场扩张，期待其在电子束光刻机领域的新突破。