金融界2024年10月21日消息,国家知识产权局信息显示,株洲三一硅能技术有限公司取得一项名为“炉管支撑装置及半导体热处理设备”的专利,授权公告号 CN 221825061 U,申请日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种炉管支撑装置及半导体热处理设备,一种炉管支撑装置包括:一对托板,一对托板间隔设置,每个托板上分别设置有安装座;一对支撑杆,设置在一对安装座之间,支撑杆平行于炉管的长度方向设置,每个支撑杆的两端均与安装座连接;第一调节机构,设置在炉管一侧的托板上,第一调节机构能够驱使安装座沿第一方向移动;第二调节机构,第二调节机构与第一调节机构同侧设置,第二调节机构设置为能够驱使相邻的支撑杆沿第一方向移动,第一方向与支撑杆的轴向垂直;本实用新型方便的对炉管向内移动和向外移动以及高度位置的调节,并且将第一调节机构与第二调节机构设置在炉管的同一侧,方便操作且便于维护。