金融界2024年6月28日消息，天眼查知识产权信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请一项名为“一种带晶圆顶升功能的旋转卡盘”，公开号CN202410378998.2，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明提供一种带晶圆顶升功能的旋转卡盘，包括卡盘主体，卡盘主体穿设有若干顶升机构且内部设有第一气道；顶升机构的下端部对应有第一气道，向第一气道中通入气体以使顶升机构向上顶起，顶起时顶升机构的上端部高出卡盘主体的上端面，第一气道未通入气体时顶升机构回复到原位。取消了工艺腔里面的中转夹持机构，增加了可以顶升晶圆的顶升机构，避免了之前中转机构在取放晶圆过程中，零部件之间摩擦产生的颗粒状物体，掉落到晶圆表面，污染晶圆表面，同时顶升机构安装在旋转卡盘内部，占用空间小，也节省成本。