2024年7月2日，半导体设备材料ETF(159516.SZ)收跌1.49%，成交5770.82万元。净流入1585.00万元（净申购份额*单位净值），居可比基金首位。
资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加2000.00万份，突破9.40亿份，居可比基金第一。与此同时，该基金最新规模突破7.50亿元，居可比基金第一。
半导体设备材料ETF(159516.SZ)，场外联接(A：019632；C：019633)。
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